ROLE OF HYDROGEN IN SPUTTERING OF NICKEL-CHROMIUM FILMS

被引：27

作者：

STERN, E

CASWELL, HL

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1967年 / 4卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492534

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：128 / &

共 10 条

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