ION-IMPLANTED ACOUSTIC-SURFACE-WAVE RESONATOR

被引：2

作者：

HARTEMANN, P ^{[1
]}

机构：

[1] THOMSON CSF,LAB CENT RECH,DOMAINE CORBEVILLE,BP 10,91401 ORSAY,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.88660

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：73 / 75

页数：3

共 8 条

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