INVESTIGATION OF INFLUENCE OF LOW-TEMPERATURE ANNEALING TREATMENTS ON INTERFACE STATE DENSITY AT SI-SIO2 INTERFACE

被引:46
作者
YEOW, YT [1 ]
LAMB, DR [1 ]
BROTHERTON, SD [1 ]
机构
[1] UNIV SOUTHAMPTON,DEPT ELECTR,SOUTHAMPTON SO9 5NH,ENGLAND
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/8/13/011
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1495 / &
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