THE DOPING OF SILICON WITH BORON BY RAPID THERMAL-PROCESSING

被引:3
作者
DESOUZA, JP
HASENACK, CM
SWART, JE
机构
关键词
D O I
10.1088/0268-1242/3/4/001
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:277 / 280
页数:4
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