EMISSION-SPECTRA OF SIH(A2-DELTA-]X2II) AND SICL2(A1B1-]X1A1) IN THE VUV PHOTOLYSES OF SILANE AND CHLORINATED SILANES

被引:62
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作者
WASHIDA, N
MATSUMI, Y
HAYASHI, T
IBUKI, T
HIRAYA, A
SHOBATAKE, K
机构
[1] ULVAC CORP,CHIGASAKI,KANAGAWA 253,JAPAN
[2] KYOTO UNIV,INST CHEM RES,UJI,KYOTO 611,JAPAN
[3] INST MOLEC SCI,OKAZAKI,AICHI 444,JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.449227
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:2769 / 2774
页数:6
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