EFFECTS OF BIAS VOLTAGE ON PROPERTIES AND STRUCTURE OF SPUTTERED AND ION-PLATED COATINGS

被引：3

作者：

CARMICHAEL, DC ^{[1
]}

机构：

[1] BATTELLE MEM INST, COLUMBUS LABS, MAT PROC TECHNOL DEPT, COLUMBUS, OH 43201 USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1312725

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：639 / 639

页数：1