首页
学术期刊
论文检测
AIGC检测
热点
更多
数据
THE EFFECT OF STRESS ON THE REDISTRIBUTION OF IMPLANTED IMPURITIES IN GAAS
被引:0
作者
:
BLAAUW, C
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
BELL NO RES,OTTAWA K1Y 4H7,ONTARIO,CANADA
BELL NO RES,OTTAWA K1Y 4H7,ONTARIO,CANADA
BLAAUW, C
[
1
]
机构
:
[1]
BELL NO RES,OTTAWA K1Y 4H7,ONTARIO,CANADA
来源
:
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
|
1984年
/ 131卷
/ 10期
关键词
:
D O I
:
10.1149/1.2148652
中图分类号
:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
:
081704 ;
摘要
:
引用
收藏
页码:2453 / 2454
页数:2
相关论文
共 3 条
[1]
STRESS IN CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITED SIO2 AND PLASMA-SINX FILMS ON GAAS AND SI
BLAAUW, C
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
BLAAUW, C
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1983,
54
(09)
: 5064
-
5068
[2]
KASAHARA J, J ELCHEM SO, V130, P2275
[3]
THERMAL-STRESSES AND CRACKING RESISTANCE OF DIELECTRIC FILMS (SIN, SI3N4, AND SIO2) ON SI SUBSTRATES
SINHA, AK
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SINHA, AK
LEVINSTEIN, HJ
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
LEVINSTEIN, HJ
SMITH, TE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SMITH, TE
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1978,
49
(04)
: 2423
-
2426
←
1
→
共 3 条
[1]
STRESS IN CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITED SIO2 AND PLASMA-SINX FILMS ON GAAS AND SI
BLAAUW, C
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
BLAAUW, C
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1983,
54
(09)
: 5064
-
5068
[2]
KASAHARA J, J ELCHEM SO, V130, P2275
[3]
THERMAL-STRESSES AND CRACKING RESISTANCE OF DIELECTRIC FILMS (SIN, SI3N4, AND SIO2) ON SI SUBSTRATES
SINHA, AK
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SINHA, AK
LEVINSTEIN, HJ
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
LEVINSTEIN, HJ
SMITH, TE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SMITH, TE
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1978,
49
(04)
: 2423
-
2426
←
1
→