METAL-CLUSTERS IN PLASMA POLYMERIZED FLUOROCARBON FILMS - COBALT-ALUMINUM

被引：10
作者：
KAY, E
HECQ, M
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.572751
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
引用
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页码：401 / 404
页数：4
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共 6 条
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