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EFFECT OF ION-BEAM PARAMETERS ON THE TEMPERATURE OF THE SURFACE-LAYER OF THE SAMPLE BEING SPUTTERED
被引：0
作者：
NAZAROV, VG
VINOGRADOV, AM
机构：
来源：
SOVIET JOURNAL OF OPTICAL TECHNOLOGY
|
1988年
/
55卷
/
01期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
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页数：3
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