ANALYTICAL STUDY OF PLATINUM SILICIDE FORMATION

被引：58

作者：

BINDELL, JB

COLBY, JW

WONSIDLER, DR

POATE, JM

CONLEY, DK

TISONE, TC

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103

[2] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

[3] WESTERN ELECT CO INC,ALLENTOWN,PA 18103

[4] GOULD INC,ROLLING MEADOWS,IL 60008

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90612-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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