CHARACTERIZATION OF ELECTRONIC MATERIALS USING INFRARED, ACOUSTIC AND THERMAL-WAVE IMAGING TECHNIQUES

被引:0
作者
STRAUSSER, YE [1 ]
ROSENCWAIG, A [1 ]
机构
[1] THERMA WAVE INC,FREMONT,CA 94533
来源
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 1984年 / 187卷 / APR期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:134 / INDE
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