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SOME EFFECTS OF AL AND O-2 ON NITRIDATION OF SILICON COMPACTS
被引：10
作者：
TORRE, JP
[1
]
MOCELLIN, A
[1
]
机构：
[1] ECOLE MINES PARIS,CTR MAT,F-91003 EVRY,FRANCE
关键词：
D O I：
10.1007/BF00737528
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：1725 / 1733
页数：9
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