SEMICONDUCTOR-MATERIALS AND PROCESSES .1. FABRICATION TECHNOLOGY - INTRODUCTION

被引:0
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作者
GOLDSMITH, N [1 ]
KRESSEL, H [1 ]
机构
[1] RCA CORP LABS,DAVID SARNOFF RES CTR,MAT & PROC RES LAB,PRINCETON,NJ 08540
来源
RCA REVIEW | 1983年 / 44卷 / 01期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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