MONTE-CARLO CALCULATION FOR ION-ASSISTED THIN-FILM DEPOSITION

被引：0

作者：

MULLER, KH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

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页数：2

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共 2 条

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[2] MULLER KH, 1986, J VAC SCI TECHNOL A, V4, P184, DOI 10.1116/1.573468