SILICON EPITAXIAL-GROWTH ON GERMANIUM USING AN SI2H6 LOW-PRESSURE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION TECHNIQUE

被引:8
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作者
FUJINAGA, K
TAKAHASHI, Y
ISHII, H
HIROTA, S
KAWASHIMA, I
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.584721
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:225 / 228
页数:4
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