MASS-SPECTROMETRIC ANALYSIS OF VAPORS IN OXIDATION OF SI3N4 COMPACTS

被引：17

作者：

LIN, SS ^{[1
]}

机构：

[1] USA,MAT & MECH RES CTR,WATERTOWN,MA 02072

来源：

关键词：

Compendex;

D O I：

10.1111/j.1151-2916.1975.tb19596.x

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

SILICON COMPOUNDS

引用

页码：160 / 160

页数：1

共 7 条

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