PROPERTIES OF TRANSPARENT, CONDUCTING ZNO FILMS DEPOSITED BY REACTIVE BIAS SPUTTERING

被引:34
作者
BRETT, MJ
PARSONS, RR
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1098(85)90087-0
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
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页码:603 / 606
页数:4
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