INP-SIO2 MIS STRUCTURE

被引：80

作者：

MESSICK, L ^{[1
]}

机构：

[1] USN,CTR ELECTR LAB,SAN DIEGO,CA 92152

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 47卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1063/1.322500

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：4949 / 4951

页数：3

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共 12 条

[11] WOLF HF, 1969, SILICON SEMICONDUCTO, P603
[12] 1970, P INT C PHYSICS SEMI