PHOSPHORUS-DOPED POLYCRYSTALLINE SILICON VIA LPCVD .2. SURFACE INTERACTIONS OF THE SILANE PHOSPHINE SILICON SYSTEM

被引：101
作者：
MEYERSON, BS
YU, ML
机构：
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1984年 / 131卷 / 10期
关键词：
D O I：
10.1149/1.2115259
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
收藏
页码：2366 / 2368
页数：3
相关论文
共 14 条
[11]   LEED AND AES STUDY OF PH3 ADSORPTION ON CLEAN SI(111) [J].
VANBOMME.AJ ;
CROMBEEN, JE .
SURFACE SCIENCE, 1973, 36 (02) :773-777
[12]   A LOW ENERGY ELECTRON DIFFRACTION STUDY OF PH3 ADSORPTION ON SI (111) SURFACE [J].
VANBOMMEL, AJ ;
MEYER, F .
SURFACE SCIENCE, 1967, 8 (04) :381-+
[13]  
Yu M. S., UNPUB
[14]  
YU ML, UNPUB J VAC SCI TE A
12