NEW GAAS, GAP, AND GAASX P1-X VACUUM DEPOSITION TECHNIQUE USING ARSINE AND PHOSPHINE GAS

被引：24

作者：

MORRIS, FJ ^{[1
]}

FUKUI, H ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILLS,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1317848

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：506 / 510

页数：5

共 8 条

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