PREPARATION AND PROPERTIES OF THIN FILM SILICON-NITROGEN COMPOUNDS PRODUCED BY A RADIO FREQUENCY GLOW DISCHARGE REACTION

被引:102
|
作者
SWANN, RCG
MEHTA, RR
CAUGE, TP
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2426714
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:713 / &
相关论文
共 50 条