A TECHNIQUE FOR THE DETERMINATION OF STRESS IN THIN-FILMS

被引:154
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作者
BROMLEY, EI
RANDALL, JN
FLANDERS, DC
MOUNTAIN, RW
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.582744
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1364 / 1366
页数:3
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