COMPARISON OF FINITE-ELEMENT CALCULATIONS AND EXPERIMENTAL MEASUREMENTS IN EDGE-DEFINED FILM-FED GROWTH OF SILICON SHEETS

被引:10
作者
ETTOUNEY, HM [1 ]
KALEJS, JP [1 ]
BROWN, RA [1 ]
机构
[1] MIT,DEPT CHEM ENGN,CAMBRIDGE,MA 02139
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(84)90279-3
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:306 / 313
页数:8
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