INTEGRATED-CIRCUIT REPAIR USING FOCUSED ION-BEAM MILLING

被引：88
作者：
HARRIOTT, LR
WAGNER, A
FRITZ, F
机构：
[1] AT&T Bell Lab, Murray Hill, NJ,, USA, AT&T Bell Lab, Murray Hill, NJ, USA
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1986年 / 4卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1116/1.583433
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
4
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页码：181 / 184
页数：4
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共 4 条
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