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FLASHLAMP-PUMPED DYE AND EXCIMER LASER PLANARIZATION OF THIN METAL-FILMS
被引：0
作者：
MARELLA, PF
TUCKERMAN, DB
PEASE, RF
机构：
来源：
LASER- AND PARTICLE-BEAM CHEMICAL PROCESSES ON SURFACES
|
1989年
/
129卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ;
081704 ;
摘要：
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页码：569 / 577
页数：9
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