MONOLITHIC POLYCRYSTALLINE-SILICON PRESSURE TRANSDUCER

被引：17

作者：

JAFFE, JM ^{[1
]}

机构：

[1] GM,ELECTR DEPT,RES LABS,WARREN,MI 48090

来源：

ELECTRONICS LETTERS | 1974年 / 10卷 / 20期

关键词：

D O I：

10.1049/el:19740335

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：420 / 421

页数：2

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共 2 条

[1] PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM [J].

ONUMA, Y ;

SEKIYA, K .

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1972, 11 (01) :20-&

[2]

Timoshenko S., 1959, THEORY PLATES SHELLS