GAS ROTATIONAL TEMPERATURE IN A RF PLASMA

被引:0
作者
PORTER, RA [1 ]
HARSHBARGER, WR [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页码:C285 / C285
页数:1
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