STRUCTURAL-CHANGES OF METAL CONTAINING A-C-H FILMS UPON HEAT-TREATMENT

被引：0

作者：

KUHN, J

LASCH, S

LEHMBERG, H

PAGNIA, H

机构：

[1] Institute für Angewandte Physik, Technische Hochschule Darmstadt, Darmstadt, W6100

来源：

INTERNATIONAL JOURNAL OF ELECTRONICS | 1992年 / 73卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1080/00207219208925755

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

The distribution of palladium in RF-plasma grown hard carbon films and its heat induced changes have been monitored by electron microscopy. For untreated films prepared from a metalorganic, only under high resolution conditions can metal clusters be observed.

引用

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