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PERFORMANCE-CHARACTERISTICS OF A NARROW-BAND INDUSTRIAL EXCIMER LASER
被引：0
作者：
BRIMACOMBE, RK
MCKEE, TJ
MORTIMER, ED
NORRIS, B
REID, J
ZNOTINS, TA
机构：
来源：
OPTICAL/LASER MICROLITHOGRAPHY II
|
1989年
/
1088卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
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页码：416 / 422
页数：7
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