STANDARDIZATION OF RADIATION METHODS OF FLAW DETECTION OF SEMICONDUCTORS AND SIMILAR DEVICES IN THE USA

被引：0

作者：

ZINOVEV, YA

机构：

来源：

RUSSIAN JOURNAL OF NONDESTRUCTIVE TESTING | 1992年 / 28卷 / 01期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

Standard methods of radiaton flaw detecton of semiconductors and similar devices in the USA are examined. A list of detectable defects, sensitivity standards used, and technological recommendations on inspection are given.

引用

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