INFLUENCE OF HEAT-TREATMENT ON SI-SIO2 INTERFACE STATES IN POLY SI-SIO2-SI SYSTEM

被引:0
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作者
HASEGAWA, K [1 ]
MORITA, H [1 ]
ENOMOTO, T [1 ]
FUKUWATARI, H [1 ]
机构
[1] MITSUBISHI ELECT CORP, KITA WORKS, 4-1 MIZUHARA, ITAMI, HYOGO, JAPAN
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:C89 / C89
页数:1
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