THEORY OF THERMAL SPUTTERING

被引:142
作者
KELLY, R [1 ]
机构
[1] MCMASTER UNIV,INST MAT RES,HAMILTON L8S 4M1,ONTARIO,CANADA
来源
RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS | 1977年 / 32卷 / 1-2期
关键词
D O I
10.1080/00337577708237462
中图分类号
TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];
学科分类号
0827 ; 082701 ;
摘要
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