GRINDING OF NON-METALS, PARTICULARLY OF SILICON CHIPS

被引：0

作者：

FELDMEIER, F

机构：

[1] GMN Georg Mueller Nuernberg GmbH, Nuremberg, West Ger, GMN Georg Mueller Nuernberg GmbH, Nuremberg, West Ger

来源：

F&M-FEINWERKTECHNIK & MESSTECHNIK | 1984年 / 92卷 / 05期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：3