CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION PROMOTED BY RF DISCHARGE

被引：166
作者：
STERLING, HF
SWANN, RCG
机构：
来源：
SOLID-STATE ELECTRONICS | 1965年 / 8卷 / 08期
关键词：
D O I：
10.1016/0038-1101(65)90033-X
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：653 / &
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