SUBSTRATE HOLE CURRENT AND OXIDE BREAKDOWN

被引:139
作者
CHEN, IC
HOLLAND, S
YOUNG, KK
CHANG, C
HU, C
机构
关键词
D O I
10.1063/1.97563
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:669 / 671
页数:3
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