PREPARATION AND PROPERTIES OF III-V NITRIDE THIN-FILMS

被引:177
作者
KUBOTA, K
KOBAYASHI, Y
FUJIMOTO, K
机构
关键词
D O I
10.1063/1.344181
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2984 / 2988
页数:5
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