AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY OF SILICON-WAFERS

被引：0

作者：

VALVISTO, KS ^{[1
]}

TILLI, MV ^{[1
]}

RISTOLAINEN, EO ^{[1
]}

机构：

[1] HELSINKI UNIV TECHNOL,PHYS MET LAB,SF-02150 ESPOO 15,FINLAND

来源：

ULTRAMICROSCOPY | 1984年 / 13卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0304-3991(84)90030-5

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

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