CALIBRATION OF MOLECULAR DRAG VACUUM GAUGES

被引：18

作者：

MCCULLOH, KE ^{[1
]}

机构：

[1] NBS,INST BASIC STAND,WASHINGTON,DC 20234

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572065

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：168 / 171

页数：4

共 9 条

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