SPUTTERED BI2TE3 AND PBTE THIN-FILMS

被引:45
作者
SHING, YH
CHANG, Y
MIRSHAFII, A
HAYASHI, L
ROBERTS, SS
JOSEFOWICZ, JY
TRAN, N
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.571916
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:503 / 506
页数:4
相关论文
共 8 条