FLAME HYDROLYSIS DEPOSITION OF SIO2-TIO2 GLASS PLANAR OPTICAL-WAVEGUIDES ON SILICON

被引：26

作者：

KAWACHI, M

YASU, M

KOBAYASHI, M

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1983年 / 22卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.22.1932

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1932 / 1932

页数：1