BEAM ANNEALING OF SEMICONDUCTOR-MATERIALS

被引:4
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作者
SEALY, BJ
机构
来源
PHYSICS IN TECHNOLOGY | 1984年 / 15卷 / 01期
关键词
D O I
10.1088/0305-4624/15/1/I04
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页数:7
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