MAGNETRON-SPUTTERED METAL AMORPHOUS-SILICON INTERFACES

被引：3
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作者：
ANDERSON, WW [1 ]
CROWLEY, JL [1 ]
JONATH, AD [1 ]
MACMILLAN, HF [1 ]
OPYD, WG [1 ]
机构：
[1] TELIC CORP,SANTA MONICA,CA
来源：
THIN SOLID FILMS | 1982年 / 93卷 / 3-4期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(82)90136-5
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：301 / 307
页数：7
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