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PROCESSING AND INSTRUMENTATION IN PVD TECHNIQUES
被引：0
作者：
SCHILLER, S
HEISIG, U
NEUMANN, M
BEISTER, G
机构：
来源：
VAKUUM-TECHNIK
|
1986年
/
35卷
/
02期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TH [机械、仪表工业];
学科分类号：
0802 ;
摘要：
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页码：35 / 54
页数：20
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