FORMATION OF VACANCY AGGLOMERATES IN QUENCHED DISLOCATION-FREE SILICON

被引:8
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作者
TEMPELHOFF, K
VANSUNG, N
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1982年 / 72卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210720223
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:617 / 622
页数:6
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