MODELING ELECTRONEGATIVE PLASMA DISCHARGES, (VOL 75, PG 2339, 1994)

被引：2

作者：

LICHTENBERG, AJ

VAHEDI, V

LIEBERMAN, MA

ROGNLIEN, T

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720

[2] LAWRENCE LIVERMORE NATL LAB,LIVERMORE,CA 94550

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1994年 / 76卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1063/1.358544

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

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页码：625 / 625

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共 1 条

[1] MODELING ELECTRONEGATIVE PLASMA DISCHARGES [J].

LICHTENBERG, AJ ;

VAHEDI, V ;

LIEBERMAN, MA ;

ROGNLIEN, T .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1994, 75 (05) :2339-2347