ELECTRON-MICROSCOPE INVESTIGATION OF STRUCTURES OF AMORPHOUS-GERMANIUM FILMS

被引:4
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作者
NODA, M
ARIZUMI, T
机构
[1] AICHI UNIV EDUC,DEPT TECHNOL,KARIYA,JAPAN
[2] NAGOYA UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECTR,NAGOYA,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.15.557
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:557 / 558
页数:2
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