ION-IMPLANTATION CONTROL OF STOICHIOMETRY OF 2-6 SEMICONDUCTORS

被引:0
作者
BOCHKOV, YV [1 ]
GEORGOBIANI, AN [1 ]
DEMENTEV, BP [1 ]
KOTLYAREVSKII, MB [1 ]
NOSKOV, DA [1 ]
RAMAZANOV, PE [1 ]
机构
[1] PN LEBEDEV PHYS INST,MOSCOW,USSR
来源
SOVIET PHYSICS SEMICONDUCTORS-USSR | 1976年 / 10卷 / 02期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
引用
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页码:189 / 191
页数:3
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共 4 条
[1]  
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