TITANIUM-DIOXIDE DIELECTRIC FILMS PREPARED BY VAPOR REACTION

被引:35
作者
FEUERSANGER, AE
机构
关键词
D O I
10.1109/PROC.1964.3430
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1463 / &
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共 7 条
[1]  
FEUERSANGER AE, 1963, IEEE T ELECTRON DEVI, VED10, P143
[2]  
FEUERSANGER AE, 1961 EL SOC M DET
[3]  
GEFFCKEN W, 1951, GLASTECH BER, V24, P143
[4]  
HAAS G, 1952, VACUUM, V2, P331
[5]  
HOLLAND L, 1960, VACUUM DEPOSITION TH, P473
[6]  
HUBER F, 1961, IRE T, VCP 8, P80
[7]  
1953, LAB INSULATION RES, V4