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PHOTOLITHOGRAPHIC SOL-GEL PROCESSING
被引：0
作者：
CRANE, JL
PHELPS, CW
KRCHNAVEK, RR
BUHRO, WE
机构：
[1] WASHINGTON UNIV,DEPT CHEM,ST LOUIS,MO 63130
[2] WASHINGTON UNIV,DEPT ELECT ENGN,ST LOUIS,MO 63130
来源：
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
|
1993年
/
205卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O6 [化学];
学科分类号：
0703 ;
摘要：
引用
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页码：82 / INOR
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