SOME ASPECTS OF PROPERTY TAILORING OF SOL-GEL DERIVED THIN SIO2-FILMS

被引:13
作者
BRAUTIGAM, U
BURGER, H
VOGEL, W
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(89)90252-4
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
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页码:163 / 169
页数:7
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